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沈阳慧宇真空为吉林大学超硬材料国家重点实验室研制的高品级立方氮化硼膜外延生长实验平台
更新时间:2019-3-21

沈阳慧宇真空为吉林大学超硬材料国家重点实验室研制的高品级立方氮化硼膜外延生长实验平台

简介:

高品级立方氮化硼外延生长实验平台是为三室结构的超高真空多功能联合系统,将磁控溅射室、双离子束辅助溅射室和真空进样室(兼等离子体预处理室)通过磁力传输杆连接在一起,在不打破真空的情况下进行样品的预处理、传递、生长、退火、等离子体刻蚀,可以生长立方氮化硼外延薄膜、立方氮化硼工具涂层(厚膜)、氮化硼单层/多层二维原子晶体纳米膜等多种样品。

主要功能:

该套实验平台主要用于氮化硼的纳米级单层及多层多功能薄膜、单晶立方氮化硼薄膜的外延生长、氮化硼的工具涂层等。

技术参数:

温度:>1200°

真空度:<10-6Pa

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